期刊文章详细信息
多晶硅连杆和平台系统的微加工
The Microfabrication of Polysilicon Links and Platform Systems
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]机械工程学院,上海大学通信与信息工程学院电子物理研究所
年 份：1995
卷 号：1
期 号：1
起止页码：85-90
语 种：中文
收录情况：AJ、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、MR、ZGKJHX、ZMATH、普通刊
摘 要：本文介绍了四连杆系统、三自由度平台等微机械组件的设计和研制．叙述了微加工工艺过程，提出了工艺难点和解决方法．据实际实验尺寸分别对四连杆和平台的运动特性作了数值模拟．该平台占地约０．２ｍｍ２，最大工作区域为０．０２ｍｍ２．研制成的四连杆、平台及其它几种尺寸的单连杆均可在外力拨动下灵活地旋转或迁移．
关 键 词：平台 微加工 多晶硅 连杆 微电子机械系统
分 类 号：TN305.1] TH133.5]
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