文献类型：期刊文章

作　　者：姜燮昌[1] 胡勇[1]

机构地区：[1]机械工业部沈阳真空技术研究所

出　　处：《真空》

年　　份：1995

卷　　号：32

期　　号：6

起止页码：1-8

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX1992、CAS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：本文综述了ＩＴＯ膜透导电玻璃的应用前景，列举了当前国内外市场现状及预测。透明导电玻璃是液晶平板显示器（ＬＣ）的主要材料，ＬＣＤ顺应时代的潮流，作为人机接口产品将获得比半导体产业更大的增长率。日本达到了３８％。９０年代由于信息高速公路和多媒体的发展迎来了ＬＣＤ时代。作者列举了ＩＴＯ膜透明导电玻璃的应用实例和镀膜工艺，以及适用于工业化生产设备。认为，作为批量生产，连续直流磁控溅射是当前理想设备。它可以克服产品质量的不均匀性、不稳定性，可实现自动化生产，而且完全有条件实现设备主机国产化．机械部沈阳真空技术研究所，９３年以来已先后成功的研制了两条生产线，镀出的ＩＴＯ膜透明导电玻璃指标完全达到了国外同类产品水平。

关 键 词：ITO膜玻璃  工艺  设备  导电玻璃

分 类 号：TQ171.736]