期刊文章详细信息
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]上海理工大学工业工程研究所微电子发展研究中心,上海200093
年 份:2005
卷 号:30
期 号:8
起止页码:4-7
语 种:中文
收录情况:AJ、BDHX、BDHX2004、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、INSPEC、JST、ZGKJHX、核心刊
摘 要:在介绍OEE与TOC理论的基础上,将两者的优缺点互补,引入IEE概念进行瓶颈诊断,开展了TPM活动以提高系统整体效率,同时提出一宏观与微观相结合的企业数据收集与处理模型。结合目前国内半导体厂实时性差的特点,介绍了一晶圆制造过程实时系统工作流程。
关 键 词:设备综合效率 约束理论 设备固有效率
分 类 号:C37[社会学类] C931.6[管理科学与工程类]
参考文献:
正在载入数据...
二级参考文献:
正在载入数据...
耦合文献:
正在载入数据...
引证文献:
正在载入数据...
二级引证文献:
正在载入数据...
同被引文献:
正在载入数据...