期刊文章详细信息
射频磁控溅射高饱和磁化强度Fe-N薄膜 ( EI收录)
Fe-N Thin Films with High Saturation Magnetization Deposited by Rrdio Frequeney Magnetron Sputtering
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]天津大学现代材料物理研究所,天津300072
基 金:国家自然科学基金资助项目(50072015);教育部专项研究博士点基金资助项目(20020056018).
年 份:2005
卷 号:38
期 号:7
起止页码:573-576
语 种:中文
收录情况:AJ、BDHX、BDHX2004、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、INSPEC、JST、MR、PROQUEST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、ZMATH、核心刊
摘 要:用射频磁控溅射法分别在具有20nmFe衬底的Si(100)和NaCl单晶基片上成功地制备出具有高饱和磁化强度的Fe-N薄膜.用X射线衍射仪、透射电子显微镜和振动样品磁强计研究了氮气分压和基片温度对Fe-N薄膜相结构和磁性的影响.结果表明,当氮气分压为2.66×10-2Pa,基片温度为100~150℃时,最有利于α-″Fe16N2相的形成.在此条件下制备的Fe-N薄膜的饱和磁化强度高达2.735T,超过纯Fe的饱和磁化强度值.
关 键 词:FE-N薄膜 饱和磁化强度 射频磁控溅射
分 类 号:O482.54[材料类]
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