文献类型：期刊文章

作　　者：李若瑜[1] 李斌[1] 罗宏伟[2] 师谦[2]

机构地区：[1]华南理工大学微电子学系,广东广州510640 [2]信息产业部电子第五研究所,广东广州510610

出　　处：《核电子学与探测技术》

基　　金：电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室基金资助(51433030404DZ1501)

年　　份：2005

卷　　号：25

期　　号：3

起止页码：291-295

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2004、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、JST、SCOPUS、核心刊

摘　　要：传统辐照总剂量试验的辐射源均采用60Co,对环境危害较大。X射线作为辐射源具有安全、剂量率控制准确等优点,可进行硅片级的测试甚至在线测试,从而大大降低封装、测试、运输的成本,提高研发效率。从辐射机理和辐射对栅氧化层影响的角度深入地论证了用10keVX射线代替60Co作为总剂量试验辐射源的可行性。

关 键 词：总剂量 X射线 试验  辐照  ^60CO 空间  辐射源  环境危害 在线测试  栅氧化层 辐射机理  剂量率 硅片  封装  

分 类 号：TN386.1] O434.1]