期刊文章详细信息
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]福州大学电子系气湿敏传感器研究所,福州350002
年 份:2005
卷 号:18
期 号:2
起止页码:325-328
语 种:中文
收录情况:BDHX、BDHX2004、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要:材料的制备是研制半导体气敏传感器的关键环节。用气相反应法,以纯钨丝为原料,制备了WO3粉末,又以此WO3粉末为基材,制作了NO2气敏传感元件。在性能测试中发现,该元件对低浓度(10-10)NO2灵敏,灵敏度可达10倍左右,而且响应迅速,响应时间为1.5s。文中从材料的微观结构入手,对材料的敏感机理作了分析。
关 键 词:气相反应法 纳米WO3 气敏性质 NO2
分 类 号:TP212]
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