文献类型：期刊文章

作　　者：纪新明[1] 吴飞蝶[1] 王建业[1] 周嘉[1] 谢海芬[1] 黄宜平[1]

机构地区：[1]复旦大学微电子学系,上海200433

出　　处：《光学精密工程》

基　　金：上海市科技攻关"微机电系统"重大专项课题"气敏传感器研究"(No.02dI11029)

年　　份：2005

卷　　号：13

期　　号：2

起止页码：144-150

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2004、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：2005229136887)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：针对红外气体探测器对光源的要求,结合现有MEMS(微机电系统)工艺及与其兼容的IC工艺,研制了一种可用于红外多气体传感器的脉冲式MEMS辐射光源.该光源主要有Si3N4/SiO2的复合支撑层和铂金发热电极组成,可以产生相当于黑体300～800 K的红外辐射,在温度T＝1 106 K时有λ=2.62 μm峰值辐射波长;并且光源有足够强的辐射强度和2～15 μm红外辐射波段,能够满足大部分气体在2～14 μm波长范围内特征的吸收谱线的要求.经过对辐射元的动态测量可知,辐射源的动态调制频率可达到50 Hz,完全能够满足气体测量对所需红外光源调制频率的要求.

关 键 词：红外传感 微机电系统 辐射系数  

分 类 号：TN212]