文献类型：期刊文章

作　　者：江少群[1] 马欣新[1] 孙明仁[2]

机构地区：[1]哈尔滨工业大学材料科学系,黑龙江哈尔滨150001 [2]哈尔滨工业大学材料物理化学系,黑龙江哈尔滨150001

出　　处：《中国表面工程》

年　　份：2005

卷　　号：18

期　　号：2

起止页码：39-43

语　　种：中文

收录情况：AJ、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：采用无机溶胶-凝胶法制备了VO2热致变色薄膜,利用XPS系统地研究了烘干温度、真空热处理温度以及溶胶浓度对VO2薄膜中钒价态的影响。结果表明,保持其它工艺参数不变,薄膜中V5+被还原的程度随烘干温度和真空热处理温度升高而增大。当烘干温度、烘干时间和真空热处理时间以及真空气压相同时,随溶胶浓度减小,VO2薄膜中V5+被还原程度存在真空热处理温度临界点,当溶胶浓度配比为1︰4～1︰3时,临界温度为480℃;溶胶浓度配比为1︰3～1︰2时,临界温度为400℃。制备高纯VO2薄膜的优化工艺参数组合为溶胶浓度配比1︰3,250℃干燥2h后于450℃氢气还原3h(保持真空度为0.5Pa)。

关 键 词：VO2薄膜 热致变色 溶胶-凝胶  XPS

分 类 号：O648]