期刊文章详细信息
光纤探针式表面粗糙度测量仪实验研究
Experiment and Research on Instrument for Measurement of Surface Routhness by Fiber Probe
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]天津大学电子信息工程学院,天津300072 [2]河北工业大学电子信息工程系,天津300130
基 金：天津市重点自然基金国际合作项目资助(033800211)
年 份：2005
卷 号：38
期 号：1
起止页码：49-52
语 种：中文
收录情况：AJ、BDHX、BDHX2004、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、JST、WOS、ZGKJHX、ZMATH、ZR、核心刊
摘 要：本文介绍了一种光纤探针式表面粗糙度测量仪,它集现有接触式和非接触式表面粗糙度测量仪优点 于一身,能满足表面粗糙度测量的高精度要求.本文阐述了此种测量仪的工作原理,说明了各部分的主要功能, 并给出了光纤探头部分的具体设计,最后分析了实验结果.
关 键 词：表面粗糙度 光纤探针 激光
分 类 号：TN247]
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