文献类型：期刊文章

作　　者：陈顺利[1] 刁训刚[1] 杨盟[1] 刘海鹰[1] 王天民[1]

机构地区：[1]北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心,北京100083

出　　处：《功能材料》

基　　金：国家高技术研究发展计划(863 计划)资助项目(2003AA302320)

年　　份：2005

卷　　号：36

期　　号：3

起止页码：464-466

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2004、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：2005219118406)、IC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：利用射频磁控溅射在玻璃衬底上制备了透明TiO2 和 TiO2-x Nx 薄膜样品,通过 X 射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)及 UV Vis分光光度计等测试手段表征了样品的结构、形貌和光催化性能。结果表明制备的薄膜为锐钛矿相结构。随着 N2/Ar气流比的增大薄膜样品出现新的物相,吸收光谱向可见光方向展宽,在N2/Ar流量比为 3∶100 时,制备的薄膜在可见光区具有很好的光催化性能。

关 键 词：掺氮TiO2薄膜  光催化 磁控溅射

分 类 号：O643]