期刊文章详细信息
激光对电荷耦合器件硬破坏机理研究 ( EI收录)
STUDY OF HARD-DESTRUCTIVE MECHANISM OF THE CHARGE-COUPLED DEVICES BY A LASER
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]南京理工大学应用物理系
年 份：1994
卷 号：43
期 号：11
起止页码：1795-1802
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX1992、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI、INSPEC、JST、SCIE、SCOPUS、ZGKJHX、ZMATH、核心刊
摘 要：就激光对组成ＭＯＳ结构电荷耦合器件材料和整个器件的产生硬破坏的过程进行了理论和实验研究。提出激光的热作用和等离子体冲击波的机械作用是导致电荷耦合器件结构被破坏的主要原因。得到了ＹＡＧ激光致使组成电荷耦合器件的半导体材料的光学击穿阈值、视见损伤阈值、热熔融阈值和致使整个器件失效的激光功率阈值等有关结果。
关 键 词：电荷耦合器件 硬破坏 机理 激光
分 类 号：TN15]
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