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用改进的Van der Pauw法测定方形微区的方块电阻 ( EI收录)
MEASUREMENT OF SHEET RESISTANCE FOR MICROA- REAS BY USING A MODIFIED VAN DER PAUW'S METHOD
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]河北工学院电子工程系,天津300130
基 金：国家自然科学基金资助的课题
年 份：1994
卷 号：43
期 号：4
起止页码：530-539
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX1992、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：1994091353837)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、ZMATH、核心刊
摘 要：借助于显微镜放大8×10倍,用目视法将四探针针尖分别控制在样品的面积为100μm×100μm的方形微区的内切圆外四个角区内,利用改进的Van der Pauw法能测定它的方块电阻。测量不受探针游移的影响,无需用测定探针的精确几何位置来进行边缘效应修正。本文利用有限元法对此结论给予证明,并通过金微触点的方块电阻测定得到证实。
关 键 词：半导体器件 方块电阻 探针 有限元
分 类 号：TN307]
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