期刊文章详细信息
低压气相生长金刚石薄膜系统中衬底表面凹缺陷成核机制研究
THE NUCLEATION MECHANISM OF SUBSTRATES SURFACE DEFECTS IN LOW PRESSURE VAPOR DEPOSITION OF DIAMOND THIN FILMS
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]洛阳航空航天部第014中心
年 份：1994
卷 号：8
期 号：3
起止页码：229-236
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX1992、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、JST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：提出了金刚石在衬底表面凹缺陷内成核的理论，指出凹缺陷尺度对于金刚石成核有着决定性作用，合适的凹缺陷将使成核率达到最大。并且讨论了该理论对于试图通过控制衬底表面缺陷来控制金刚石成核密度等人工微结构设计研究的意义。
关 键 词：金刚石 薄膜 凹缺陷 成核
分 类 号：O484.1]
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