文献类型：期刊文章

作　　者：范光照[1] 朱志良[2] 钟添东[3]

机构地区：[1]合肥工业大学仪器仪表学院,合肥230000 [2]南台科技大学机械系 [3]台湾大学机械系

出　　处：《纳米技术与精密工程》

年　　份：2003

卷　　号：1

期　　号：1

起止页码：17-23

语　　种：中文

收录情况：AJ、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、DOAJ、IC、INSPEC、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：介绍一套低成本小型三维坐标测量机的研制过程,作为微/纳米级超精密测量设备,整体机台结构采用花岗岩材料;X/Y轴的移动平台利用压电材料摩擦驱动与挠性变形原理,长短两行程可达25 mm范围及5 nm的微位移,藉自行研发的衍射干涉激光尺,位置回馈测量系统可具有0.025 nm的分辨率;测量探头在一般DVD光读取头的自动聚焦原理基础上改装,最佳分辨率可达2.5 nm.该雏形机适于测量微机电组件、微型器件及膜厚等.

关 键 词：三维坐标测量机  精密测量  衍射干涉激光尺  系统结构 测量探头  双轴纳米微动平台  

分 类 号：TH721[仪器类]