期刊文章详细信息
双焦干涉表面微观轮廓检测 ( EI收录)
The Double Focus Interference Profiles Testing
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]浙江大学光科系
年 份：1993
卷 号：14
期 号：2
起止页码：148-153
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX1992、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：本文论述一种高灵敏度的新型表面轮廓检测系统。该系统由双焦透镜偏振共路干涉系统及共模抑制电子处理系统两部分组成。可用于各种材料表面的无损检测。该系统的纵向灵敏度小于20A,横向灵敏度小于2μm。与Talysurf-6触针式表面轮廓仪对同一样品表面测试结果进行了比对,获得了满意的结果。
关 键 词：双焦透镜 干涉 轮廓 检测
分 类 号：TH740.6]
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