期刊文章详细信息
热丝CVD法制备金刚石膜
Diamond thin film deposited by HFCVD
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]天津理工大学光电信息与电子工程系,天津300191
基 金：天津市自然科学基金资助项目(023602511).
年 份：2005
卷 号：21
期 号：1
起止页码：41-42
语 种：中文
收录情况：ZGKJHX、普通刊
摘 要：采用热灯丝CVD、分次连续沉积的办法在硅衬底上制备金刚石膜.用RAMAN光谱、X ray衍射、扫描电子显微镜(SEM)等多种技术对金刚石膜的形貌、成份、晶态等特性进行了分析,证实所获膜质量较好.
关 键 词：金刚石膜 热丝化学气相沉积法 热灯丝CVD 扫描电子显微镜 RAMAN光谱
分 类 号：TN304.18]
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