期刊文章详细信息
GaAs/InGaAs量子点应变场的TEM研究
Study of strain field in GaAs/InGaAs quantum dots by transmission electron microscopy
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]清华大学材料科学与工程研究院电子显微镜实验室,北京100084
基 金:国家自然科学基金资助项目;国家863项目;清华大学985资助项目.
年 份:2003
卷 号:22
期 号:5
起止页码:395-399
语 种:中文
收录情况:BDHX、BDHX2000、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊
摘 要:运用透射电子显微术(TEM)对由分子束外延(MBE)制备的GaAs InGaAs多层量子点样品进行观察和分析。利用对量子点周围应变场分布的模拟,定性解释了量子点形貌及其周围发现的凹陷区域。通过对量子点高分辨像显示的晶格错配和化学成分分析研究,解释了所研究样品中量子点尺寸逐层增大的现象。研究结果为量子点材料生长过程中应变场的控制提供了一些思路。
关 键 词:量子点材料 MBE 分子束外延 场分布 TEM 尺寸 显示 错配 研究结果 观察
分 类 号:O472]
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