文献类型：期刊文章

作　　者：余旭浒[1] 马瑾[1] 计峰[1] 王玉恒[1] 张锡健[1] 程传福[2] 马洪磊[1]

机构地区：[1]山东大学物理与微电子学院,山东济南250100 [2]山东师范大学物理系,山东济南250014

出　　处：《功能材料》

基　　金：教育部科学技术研究重点资助项目(重点02165);博士点基金资助项目(20020422056)

年　　份：2005

卷　　号：36

期　　号：2

起止页码：241-243

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2004、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：2005159039510)、IC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上低温制备出镓掺杂氧化锌(ZnO∶Ga)透明导电膜,研究了薄膜的结构、电学和光学性质随薄膜厚度的变化关系。制备的ZnO∶Ga是具有六角纤锌矿结构的多晶薄膜,最佳择优取向为(002)方向。随着薄膜厚度的增加,衍射峰明显增强,晶粒增大。薄膜的最低电阻率为 3.9×10-4Ω·cm,在可见光范围内平均透过率达到了85%以上。

关 键 词：磁控溅射 ZNO:GA 薄膜厚度 光电性质

分 类 号：TN304.2] TN304.055