文献类型：期刊文章

作　　者：陶志军[1] 吴志强[1] 刘利琴[1] 王春鸽[2] 金长久[3]

机构地区：[1]天津大学机械学院,天津300072 [2]天津三达铸造有限公司,天津300000 [3]天津撒布浪斯探测仪器有限公司,天津300000

出　　处：《天津师范大学学报（自然科学版）》

基　　金：国家自然科学基金资助项目(19990510;10102014);天津市自然科学基金资助项目(013604711)

年　　份：2004

卷　　号：24

期　　号：4

起止页码：27-29

语　　种：中文

收录情况：AJ、CAS、JST、MR、RCCSE、ZGKJHX、ZMATH、普通刊

摘　　要：在微型电子机械系统(MEMS)中,多种非线性因素严重影响其力学特性.本文对一种具有典型结构的两端固定梁型微静电开关,考虑机械、静电及挤压气隙三部分因素,在电压变化情况下,用数值模拟研究了系统中的1∶2内共振动力学.研究表明:当电压值比较小时,系统中存在复杂的动力行为,若此时同时有外激共振发生则开关接通时间增长.

关 键 词：微电子机械系统 内共振 静电开关  

分 类 号：TN401]