文献类型：期刊文章

作　　者：周肇飞[1] 张涛[1] 朱目成[1] 尹伯彪[1]

机构地区：[1]四川大学激光应用技术研究所,四川成都610065

出　　处：《中国激光》

基　　金：国家自然科学基金(50275101)资助项目

年　　份：2005

卷　　号：32

期　　号：1

起止页码：101-104

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2004、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：2005108875476)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：介绍了一种可对大尺寸工件进行无导轨精密测量的系统。以有高稳定性和强抗干扰能力(室外可达10-7 的双纵模热稳频He Ne激光器为光源,其拍频约为790MHz,拍频波长约376μm;以节点为对准标志,最邻近节 到被测点的间距用组合于同一光路中的分系统激光干涉仪测量,分辨率为0.08μm。采用自适应滤波和小波运 大幅度地降低了光电信号噪声,并强化波形。测试表明,测量的不确定度优于30μm/10m,整个测量系统可在0 20m范围内工作。

关 键 词：仪器 大尺寸测量 双纵模激光  激光拍频干涉仪  

分 类 号：TH744.3]