期刊文章详细信息
超硬纳米多层膜和复合膜的研究综述
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]吉林大学材料科学系,长春130012
基 金：国家自然科学基金资助项目(批准号:50372024)
年 份：2005
卷 号：15
期 号：1
起止页码：21-28
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2004、JST、核心刊
摘 要：综述了近年来纳米多层膜和复合超硬涂层研究的最新进展,分析了Ti／TiN、氮化物／氮化物多层膜和Ti-Si-N及Ti-Al-Si-N系复合膜的最新研究现状,详述了纳米多层膜和复合超硬涂层的致硬机理和设计方法,展望了今后纳米多层膜和复合超硬涂层的研究方向.
关 键 词：纳米多层膜 复合膜 氮化物 硬涂层
分 类 号：N02] O484]
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