期刊文章详细信息
激光直写技术的研究现状及其进展
Research Advances in Technology of Laser Direct Writing
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]苏州大学信息光学工程研究所,江苏苏州215006
年 份：2004
卷 号：17
期 号：6
起止页码：1-5
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：介绍了激光直写技术的最新发展现状,系统的功能、结构和工作方式,对当前该系统存在的一些问题进行了归纳分析,探讨了系统的应用范围和今后的发展方向。
关 键 词：激光直写 二元光学元件 光刻 空间光调制器 光变图像
分 类 号：TN249]
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