文献类型：期刊文章

作　　者：李朝林[1]

机构地区：[1]淮安信息职业技术学院电子与信息工程系,江苏淮安223001

出　　处：《电子元件与材料》

年　　份：2005

卷　　号：24

期　　号：1

起止页码：4-6

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2004、CAS、CSCD、CSCD_E2011_2012、INSPEC、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：为研究SnO2薄膜的气敏特性,采用直流磁控反应溅射法制备了SnO2薄膜.探讨和分析了SnO2薄膜气敏元件的敏感机理.对SnO2薄膜的电阻和灵敏度的测试以及对实验结果的分析表明:SnO2薄膜厚度在150～400 nm为宜,一般膜厚在250 nm时较为敏感.在SnO2薄膜中掺入Pd、Pt、Ag等微量杂质可大大提高SnO2薄膜气敏元件的灵敏度,且使灵敏度的峰值向低温方向移动,增强了对H2、CO和C2H5OH等可燃气体的选择性、响应时间由3 min缩短到0.5s以下.

关 键 词：电子技术 磁控反应溅射 二氧化锡薄膜 气敏特性

分 类 号：TN305.92] TN304.2