文献类型：期刊文章

作　　者：赵劲松[1] 李立峰[1] 吴振华[2]

机构地区：[1]清华大学精密仪器系,北京100084 [2]北京光学仪器厂光栅研究室,北京101149

出　　处：《光学学报》

基　　金：国家 8 6 3计划资助课题。

年　　份：2004

卷　　号：24

期　　号：9

起止页码：1285-1291

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2000、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：2004508717207)、IC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：利用光刻胶的非线性效应可以制作出了矩形的全息光栅。制作矩形光栅时 ,对槽形的控制被简化为对槽深和占宽比这两个参量的控制。首先借助实时潜像监测技术获得最佳曝光量 ,然后根据显影监测曲线的特征找出光栅槽底的残胶厚度为零的显影时刻 ,就能得到槽底干净的矩形光栅 ,同时保证槽深近似等于光刻胶的初始厚度 ;如果此后继续显影 ,就能适度减小占宽比。实验结果和理论分析都证实了这种控制方法的可靠性。对 12 0 0lp/mm的光栅 ,目前工艺能精确调控的最大槽深为 1μm ,占宽比在 0 .2～ 0 .6范围内。实验还揭示 ,为了提高对光栅槽形的调控能力 ,必须首先提高干涉条纹的稳定性。

关 键 词：物理光学 矩形光刻胶光栅  槽深  占宽比  实时监测技术  全息光栅 掩模

分 类 号：TH74]