文献类型：期刊文章

作　　者：陈晓清[1] 谢自力[1] 张荣[1] 修向前[1] 顾书林[1] 韩平[1] 施毅[1] 郑有炓[1]

机构地区：[1]江苏省光电信息功能材料重点实验室南京大学物理系,江苏南京210093

出　　处：《微纳电子技术》

基　　金：国家重点基础研究发展规划(G2000068305);国家高技术研究发展规划(2001AA311110;2003AA311060);国家自然科学基金(69976014;69806006;69987001);国家杰出青年基金(60025411);江苏省自然科学基金重点项目资助(BK2003203)

年　　份：2004

卷　　号：41

期　　号：11

起止页码：24-27

语　　种：中文

收录情况：AJ、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、INSPEC、RCCSE、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：利用溶胶鄄凝胶法在硅衬底上制备了纳米ZnO薄膜。研究了热处理对ZnO薄膜的质量与发光性能的影响。结果表明,纳米ZnO薄膜具有六方纤锌矿结构,并且,随着退火温度的升高,ZnO的晶粒变大,c轴取向性变好,紫外发光强度增强。

关 键 词：纳米ZNO薄膜 发光特性 硅衬底  退火温度 发光性能  C轴取向 发光强度 紫外  溶胶-凝胶法  锌矿

分 类 号：TN304.21] O484.1]