期刊文章详细信息
微机电系统的发展及其应用
Development and Application of Micro-Electro-Mechanical System
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]厦门大学机电工程系,厦门361005
年 份：2004
卷 号：2
期 号：2
起止页码：117-123
语 种：中文
收录情况：AJ、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、DOAJ、IC、INSPEC、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊
摘 要：微机电系统是在微电子技术基础上产生和发展起来的多学科交叉的前沿科学研究领域 ,是面向 2 1世纪的高新科技 .介绍了微机电系统产生的背景影响、组成特征和基础研究内容 ,综述了微机电系统技术基础所涉及的材料、微机械设计和模、微细加工技术以及微封装与测试等领域 ,并对微机电系统的应用、典型的微器件、国内外的发展现状及前景进行全面分析 .在此基础上 。
关 键 词：微机电系统 微加工技术 微型传感器 微电子技术 半导体材料加工
分 类 号：TN305.7]
参考文献：
正在载入数据...
二级参考文献：
正在载入数据...
耦合文献：
正在载入数据...
引证文献：
正在载入数据...
二级引证文献：
正在载入数据...
同被引文献：
正在载入数据...
