期刊文章详细信息
真空镀膜技术的现状及进展
Present Situation and Development of Vaccum Coating Technology
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]天津河北工业大学材料学院,300130
年 份：2004
期 号：5
起止页码：45-48
语 种：中文
收录情况：CAS、普通刊
摘 要：介绍了在真空条件下真空蒸发镀、溅射镀膜和离子镀等镀膜技术的概念和这几种真空镀膜技术的特点、应用及发展的前景。
关 键 词：真空蒸发镀 离子镀 磁控溅射 发展趋势
分 类 号：TG174]
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