期刊文章详细信息
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]兰州大学磁性材料研究所,兰州730000
年 份:2004
卷 号:53
期 号:10
起止页码:3550-3554
语 种:中文
收录情况:BDHX、BDHX2000、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号:2004498707623)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCI-EXPANDED(收录号:WOS:000224421300059)、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、ZMATH、核心刊
摘 要:采用交替溅射方法制备了Ni_Zn铁氧体薄膜 ,并研究了薄膜成分和制备条件例如热处理温度、氧分压、膜厚、衬底层等因素对Ni_Zn铁氧体薄膜的影响 .实验表明沉积态薄膜为非晶态 ,经大气中不同温度热处理后得到了尖晶石结构 ,其主峰为 (311)峰 .另外 ,通过不同条件对Ni_Zn铁氧体薄膜的研究 。
关 键 词:薄膜成分 磁性 制备条件 衬底 尖晶石结构 膜厚 溅射 NI-ZN铁氧体 热处理温度 非晶态
分 类 号:O484.1]
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