文献类型：期刊文章

作　　者：朱目成[1] 周肇飞[1] 张涛[1]

机构地区：[1]四川大学激光应用技术研究所

出　　处：《激光技术》

基　　金：国家自然科学基金资助项目 (5 0 2 75 10 1)

年　　份：2004

卷　　号：28

期　　号：5

起止页码：531-533

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2000、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：介绍了一种可对大尺寸工件进行无导轨精密测量的方法和装置。装置以双纵模热稳频He Ne激光器为光源。理论及实验均证明该光源的频差有较高的稳定度 (室外不低于 1× 10 -7)和强的抗干扰性 ,拍波频率约为75 0MHz ,拍波长约为 4 0 0mm。该装置以拍波合成的场强信号的节点为对准标志 ,以光路组合形成的双频激光干涉仪测量尾数部分。实验表明 ,该装置的节点定位精度小于 0 .0 5mm ,尾数测量部分分辨率为 0 .0 8μm ,整个测量系统可在 2 0m范围内进行精度为± 5 0 μm +1.5× 10 -6·L(L为被测长度 ,单位为m)的测量。

关 键 词：大尺寸 双纵模  节点  拍波干涉  

分 类 号：TN248.2] TH744.3]