期刊文章详细信息
微悬臂梁在化学及生物传感器中的应用进展
Development of Microcantilever-Based Chemical and Biological Sensors
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]复旦大学微电子系,上海200433
基 金：国家自然科学基金资助项目(30170266)
年 份：2004
卷 号：34
期 号：5
起止页码：493-496
语 种：中文
收录情况：AJ、BDHX、BDHX2000、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、IC、INSPEC、JST、ZGKJHX、核心刊
摘 要： 微悬臂梁结构传感器以其低成本、小体积、高性能在当今传感器研究中愈来愈受到重视。文章概述了以微悬臂梁为主要结构的传感器在化学及生物探测中的应用进展,介绍了几种可能用于化学和生物探测的高性能微悬臂梁传感器。
关 键 词：MEMS 微悬臂梁 化学传感器 生物传感器
分 类 号：TP212]
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