文献类型：期刊文章

作　　者：马颖[1] 张方辉[1] 靳宝安[1] 牟强[1] 袁桃利[1]

机构地区：[1]陕西科技大学电气与电子工程学院,陕西咸阳712081

出　　处：《液晶与显示》

基　　金：陕西省教育厅基金资助项目(No.03JK161)

年　　份：2004

卷　　号：19

期　　号：5

起止页码：376-379

语　　种：中文

收录情况：AJ、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、EBSCO、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：以氯化铟和氯化锡为前驱物,采用溶胶 凝胶法在玻璃基片上制备了ITO薄膜。研究了掺锡浓度、热处理温度和热处理时间等工艺条件对ITO薄膜光电特性的影响。制备的ITO薄膜的方阻为300Ω/□,可见光平均透过率为80%,电阻率为4×10-3Ω·cm,其光电特性已达到了TN LCD透明电极的要求。

关 键 词：ITO薄膜 溶胶-凝胶法 透光率 液晶显示器 热处理  光电特性

分 类 号：O484.41]