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大颗粒在等离子体鞘层中的受力分析与计算 ( EI收录 SCI收录)
ANALYSIS AND CALCULATION OF FORCES ON MACRO- PARTICLES IN PLASMA SHEATH
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连116024 [2]大连理工大学物理系,大连116024
基 金:国家高技术研究发展计划资助项目2002AA302507
年 份:2004
卷 号:40
期 号:10
起止页码:1064-1068
语 种:中文
收录情况:AJ、BDHX、BDHX2000、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCI(收录号:WOS:000224871300011)、SCI-EXPANDED(收录号:WOS:000224871300011)、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊
摘 要:用Edelberg和Aydil的等离子体鞘层模型,对电弧离子镀中大颗粒在脉冲偏压鞘层中的带电及受力情况进行了分析 和计算,为大颗粒由于带负电而受到电场力排斥从而被净化的实验现象和物理模型提供佐证.
关 键 词:大颗粒 电弧离子镀 脉冲偏压 等离子体鞘层 受力分析
分 类 号:TB43]
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