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电子束辐照下钛酸锶钡薄膜的子能量损失谱研究
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]清华大学材料科学与工程研究院电子显微镜实验室,北京100084
基 金：国家自然科学基金;国家973项目;清华大学985项目资助
年 份：2004
卷 号：34
期 号：9
起止页码：961-968
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2000、CSCD、CSCD2011_2012、核心刊
摘 要：实验发现在较高电流密度的电子束照射下(电流密度约为2nA/cm2),BST薄膜有辐照损伤现象发生.原位实时记录的Ti和O的电子能量损失电离边峰强度比和相对位移的变化表明:损伤过程主要表现为薄膜失氧及其导致的正离子化学价态的变化.具高空间分辨的电子能量损失谱研究证明:相对于具有完整晶体结构的柱状晶晶粒内部,有着特殊结构和化学环境的柱状晶晶粒边界是失氧的主要途径.
关 键 词：电子束辐照 钛酸锶钡薄膜 电子能量损失谱 辐照损伤
分 类 号：TB43]
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