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喷雾热解法制备薄膜技术
SPRAY PYROLYSIS TECHNIQUE USED TO PREPARED THIN FILMS
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]长安大学材料工程系,西安710054
年 份：2004
卷 号：40
期 号：5
起止页码：33-36
语 种：中文
收录情况：CAS、CSCD、CSCD_E2011_2012、JST、ZGKJHX、普通刊
摘 要：介绍了喷雾热解法制备薄膜技术,综述了喷雾热解法制备薄膜的研究进展,着重介绍了喷雾热解法制备铁电薄膜的研究,以及等离子体增强喷雾热解法制备薄膜技术。
关 键 词：喷雾热解法 静电雾化沉积 等离子体增强喷雾热解法
分 类 号：TN304.055]
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