期刊文章详细信息
双频激光干涉仪技术现状与发展
Dual-frequency Laser Interferometer Present State and Development
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室,北京100084
年 份：2004
卷 号：34
期 号：4
起止页码：251-253
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2000、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：文章概述了国内外双频激光干涉仪产品的现状,介绍了近年来双频激光干涉仪向高分辨率、高精度、高测速等几个方向的发展趋势。
关 键 词：双频激光干涉仪 外差干涉 分辨率 发展趋势
分 类 号：TH744.3]
参考文献：
正在载入数据...
二级参考文献：
正在载入数据...
耦合文献：
正在载入数据...
引证文献：
正在载入数据...
二级引证文献：
正在载入数据...
同被引文献：
正在载入数据...
