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硅基热流式微流量传感器研究
The Study on the Thermal Microfluidic Sensor Based on Silicon
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]大连理工大学微电子研究所,大连辽宁116023
基 金：国家自然科学基金资助项目 (6 0 1 74 0 34) .
年 份：2004
卷 号：17
期 号：3
起止页码：446-448
语 种：中文
收录情况：CAS、CSCD、CSCD2011_2012、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊
摘 要：采用微电子技术和微机械加工技术 ,在硅衬底上设计制作了集微型加热器和温度传感器于一体的热流式微流量传感器。在恒功率的工作模式下 ,分析了微流量传感器的特性曲线。实验结果表明 ,硅基热流式微流量传感器的测量范围在 1 0～ 80 0 μL/min之间。
关 键 词：微流量传感器 微加热器 温度传感器 微机械电子系统
分 类 号：TP212] TH814]
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