期刊文章详细信息
位置敏感探测器(PSD)的研究进展
Development and progressing of position sensitive detector
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心,浙江杭州310027
年 份：2004
卷 号：26
期 号：4
起止页码：68-71
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：回顾了位置敏感传感器(PSD)的发展历史,介绍了各种光敏面结构的PSD。并结合研究成果,阐述了单晶硅、氢化非晶硅、有机材料、大面积挠性薄膜、CMOS型,一维及二维阵列PSD等采用各种组成材料和工艺制作的PSD的发展现状,并对今后的发展和研究方向进行了展望。
关 键 词：位置敏感探测器(PSD) 氢化非晶硅 阵列 综述
分 类 号：TN247]
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