期刊文章详细信息
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]江苏法尔胜光子有限公司,江苏江阴214434
年 份:2004
期 号:4
起止页码:14-19
语 种:中文
收录情况:普通刊
摘 要: 人们对光纤生产过程中外汽相沉积(OVD)工艺的沉积机理的研究已经有好多年,但实际生产过程中,很多因素都会影响沉积速率和效率。为此我们通过试验,研究了决定沉积速率和沉积效率的主要因素,如预制棒表面温度、SiCl4流量和SiO2颗粒的温度等。
关 键 词:外汽相沉积工艺 沉积速率 光纤制备
分 类 号:TN818]
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