期刊文章详细信息
CVD金刚石薄膜基体材料的选择
SELECTION OF CVD DIAMOND FILM SUBSTRATES
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]郑州大学物理系
年 份：2004
卷 号：24
期 号：3
起止页码：50-51
语 种：中文
收录情况：AJ、CAS、IC、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊
摘 要：论述了CVD金刚石薄膜基体材料的性质 ,给出了选择金刚石薄膜基体材料的方法 ,并对各种材料的膜基结合力情况作了简要评述。
关 键 词：金刚石薄膜 基体材料 CVD
分 类 号：TB43] TQ164]
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