文献类型：期刊文章

作　　者：魏燕定[1]

机构地区：[1]浙江大学机械系生产所流体传动及控制国家重点实验室,杭州310027

出　　处：《仪器仪表学报》

基　　金：流体传动及控制国家重点实验室开放基金

年　　份：2001

卷　　号：22

期　　号：2

起止页码：199-202

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2000、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：本文在分析介绍了激光干涉仪测量位移原理的基础上 ,指出了标准振动台稳态正弦绝对校准法中 ,激光干涉仪测量的只是工作台面运动的路程而非矢量位移 ,因此对于测量含有谐波失真的正弦波形将引入测量原理性误差。文中利用波形加速度失真度系数详细推导并给出了谐波失真所引入的测量误差的估计式 ,对准确评价传感器校准精度具有重要意义 ,同样也有助于我们对激光干涉仪测量精度的认识。

关 键 词：激光干涉仪 误差估计  标准振动台  失真波形  位移测量  

分 类 号：TH744.3]