文献类型：期刊文章

作　　者：王阳元[1] 黄如[1] 刘晓彦[1] 张兴[1]

机构地区：[1]北京大学微电子学研究院,北京100871

出　　处：《物理》

年　　份：2004

卷　　号：33

期　　号：6

起止页码：407-413

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2000、CAS、INSPEC、JST、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：微电子产业是国民经济与国防建设的战略性基础产业 .对此 ,我国经历了发展时期的奋斗 ,现正处于微电子产业迅速崛起的前夕 ,预计经过 1 0— 1 5年左右时间的努力 ,将把我国建设成为微电子产业和科学技术的强国 .文章着重介绍了 2 1世纪微电子产业的发展需求 ,面向这个需求 ,讨论了 2 1世纪微电子科学技术的主要发展方向 .认为 :一方面 ,特征尺寸将继续等比例缩小 (scalingdown) ,包括新结构、新工艺、新材料的器件设计与制备技术以及光刻技术、互连技术将迅速发展 ;基于特征尺寸继续等比例缩小 ,系统芯片 (SOC)将取代目前的集成电路 (IC)最终成为主流产品 ;另一方面 ,纳电子学也将得到突破性进展 ,量子器件、分子电子器件等的相关研究日益活跃 ,期望最终达到可集成的目标 ;此外 ,微电子技术与其他领域相结合诞生出的新的技术增长点和新的学科———微机电系统(MEMS)技术等也将继续快速发展 .文章阐述了相关发展方向存在的挑战和可能的解决方案 。

关 键 词：微电子技术 等比例缩小  系统芯片 纳电子学 微机电系统

分 类 号：F416.6]