期刊文章详细信息
硅微结构惯性传感器的研制现状及应用前景 ( EI收录)
Development and Application on Sillicon Micromachined Inertial Sensors
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]中国航空信息中心研究部
年 份：1998
卷 号：6
期 号：1
起止页码：60-68
语 种：中文
收录情况：CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊
摘 要：本文从介绍硅微结构惯性传感器的研制背景入手，分析了微米／纳米技术近年来的进展对发展硅微传感器的推动作用，重点介绍了美国主要公司有关硅微结构惯性仪表的研制现状，最后结合市场预测，提出笔者对我国发展硅微惯性传感器的几点浅见。
关 键 词：惯性仪表 微米/纳米技术 微电子机械加工技术
分 类 号：TP212]
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