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膜厚度测量的椭偏仪法原理分析
ANALYSIS OF THE MEASURING PRINCIPLES WITH THE METHOD OF ELLIPTICAL POLARIZING APPARATUS
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]解放军广州通信学院,广州510502
年 份：1999
卷 号：12
期 号：3
起止页码：10-13
语 种：中文
收录情况：JST、普通刊
摘 要：薄膜厚度的测量通常有多种方法，但对超薄的膜厚，要达到较高精确度，且测量手段又较为简洁的，则椭偏仪法是理想的选择。本文对这种测量材料膜厚的光学方法从基本原理、仪器特点、测量过程、样品状态等方面，均作了全面的分析。
关 键 词：光学 椭偏仪 薄膜 厚度
分 类 号：O4[物理学类]
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