期刊文章详细信息
激光清洗技术的现状及展望
Status and Prospects of Laser Cleaning Technology
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]中国农业大学工学院,北京100083 [2]北京航空精密机械研究所,北京100076
年 份：2010
卷 号：46
期 号：2
起止页码：60-62
语 种：中文
收录情况：JST、ZGKJHX、普通刊
摘 要：介绍了激光清洗技术的原理和方法,并展望了激光清洗技术在空间领域,海洋船舶甚至日常工作中的应用前景。
关 键 词：激光清洗 微电子
分 类 号：V26]
参考文献：
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