期刊文章详细信息
基于集总参数模型的MEMS开关的研究
Study on MEMS Switches Based on Lumped Parameter Model
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]南京工业大学电子与信息工程学院,南京210009 [2]江苏英特神斯科技有限公司,南京210032
年 份：2012
卷 号：39
期 号：7
起止页码：869-871
语 种：中文
收录情况：CAS、CSA、IC、SCOPUS、普通刊
摘 要：介绍了采用集总参数模型对MEMS开关进行设计和仿真的方法。在纳米尺度下,卡斯米尔力和范德华力是不可忽略的作用力。讨论了卡斯米尔力、范德华力和静电力共同作用下MEMS的阙值电压及其非线性效果。结果表明:卡斯米尔力、范德华力和静电力共同作用影响了MEMS阙值电压的值。
关 键 词：集总参数模型 MEMS开关 悬臂梁 阙值电压
分 类 号：TH89[仪器类]
参考文献：
正在载入数据...
二级参考文献：
正在载入数据...
耦合文献：
正在载入数据...
引证文献：
正在载入数据...
二级引证文献：
正在载入数据...
同被引文献：
正在载入数据...
