期刊文章详细信息
质量流量控制器的原理与维修
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]无锡微电子科研中心二室,江苏无锡214035
年 份：2002
卷 号：2
期 号：2
起止页码：34-37
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：质量流量控制器(Mass Flow Controllers:MFC)是一种精确控制气体流量的部件.实际上它包括质量流量控制(MFC)和质量流量计(Mass Flaw Meters:MFM)二部分.故有时将MFC称为MFM.其原理如图1所示:
关 键 词：质量流量控制器 零点 满量程 电压差 设定值 点(数学) MFC 原理图
分 类 号：TN305.94]
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