期刊文章详细信息
MEMS的研究现状及其进展
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]苏州大学电子信息学院微电子学系
年 份：2004
卷 号：13
期 号：10
起止页码：57-61
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：本文从MEMS有关的材料、加工工艺、设计方法、仿真模拟、封装和可靠性等方面,阐释MEMS的研究现状,概论MEMS相关技术的发展趋势。
关 键 词：MEMS 器件 微机电系统 封装技术 参数提取 综合工具 电子数据表格 研究现状
分 类 号：TH703[仪器类]
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