期刊文章详细信息
21世纪微电子技术的发展趋势与展望
The development tendency and prospect of microelectronic technology in 21th century
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]沈阳电力高等专科学校电力系,辽宁沈阳110036 [2]沈阳电力高等专科学校基础部,辽宁沈阳110036
年 份：2002
期 号：3
起止页码：27-29
语 种：中文
收录情况：CSA、CSA-PROQEUST、普通刊
摘 要：对21世纪微电子技术的发展趋势做了分析与展望,认为以硅为基础的微电子产业在本世纪仍将保持高速发展的趋势,21世纪将是我国微电子产业的黄金时代。
关 键 词：微电子技术 集成电路 发展趋势
分 类 号：TN40]
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