文献类型：期刊文章

作　　者：戴敬[1] 樊晓峰[1] 方肇伦[1]

机构地区：[1]东北大学分析科学研究中心,沈阳,110004 东北大学分析科学研究中心,沈阳,110004 东北大学分析科学研究中心,沈阳,110004

出　　处：《高等学校化学学报》

基　　金：国家自然科学基金资助.

年　　份：2004

卷　　号：25

期　　号：z1

起止页码：41-42

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2000、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、JST、RCCSE、RSC、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：　　微流控芯片上通道与结构尺寸是微流控系统研究与加工中的一个基础数据,由于其微米级的尺度及要求非破坏性等特点,常用的触针式轮廓仪由于其触针尺寸的限制,对高深宽比的微结构测量失真明显.而其它的测量方法如扫描电镜显微测试技术及光干涉技术等均难以满足需要或难以在普通的化学实验室中实现.……

关 键 词：PDMS 微流控芯片 结构尺寸 测量方法

分 类 号：O6[化学类]