文献类型：期刊文章

作　　者：张惠[1] 郭天文[1] 宋忠孝[2]

机构地区：[1]第四军医大学,陕西西安710032 [2]西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室,陕西西安710049

出　　处：《稀有金属材料与工程》

基　　金：国家自然科学基金(30371557)

年　　份：2006

卷　　号：35

期　　号：4

起止页码：593-595

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2004、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：2006229913485)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCI(收录号：WOS:000237365900020)、SCI-EXPANDED(收录号：WOS:000237365900020)、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：探讨采用射频磁共溅射氮硅锆(ZrSiN)涂层作为扩散阻挡层(钛与瓷间的中间层),增强钛/瓷结合强度的可行性。结果表明:ZrSiN是含纳米结晶相ZrN和非晶相SiNx的纳米复合扩散阻挡层。无ZrSiN扩散阻挡层的钛经热循环后表面明显氧化,有ZrSiN扩散阻挡层处理后的钛表面经热循环后没有氧化钛,只有锆、硅、氮和氧元素,表明ZrSiN扩散阻挡层可有效阻挡钛在瓷烧结温度下氧化。三点弯曲试验表明ZrSiN涂层还可提高钛瓷结合强度。高硅含量的ZrSiN涂层处理的钛瓷结合强度更高,这与非晶相SiNx增多有关。

关 键 词：扩散阻挡层 结合强度  钛瓷

分 类 号：R783[口腔医学类]